0.5um对准精度调解装置                       0.1um对准精度调解装置

　

　

单芯片卡盘可实现Singal Die光刻

卡盘的特殊设计，使得卡盘可以同时向下兼容不同尺寸wafer的光刻，比如: 6”的卡盘可以同时兼容2，3，4，5，6寸及任意形状（piece part）wafer的光刻，